MT130
Estágio linear compacto com motor interno
A fase linear em miniatura oferece uma excelente retidão e planicidade graças aos rolamentos de rolos. O acionamento está completamente alojado no sistema de posicionamento altamente compacto.
- Deslocações até 80 mm em espaços de instalação pequenos (130 x 130 x 43 mm)
- Repetibilidade até 2,3 µm
- Facilmente empilhável em sistemas multi-eixos compactos
Opções:
- Disponível com motor DC ou motor de passo
- Unidade compacta de 3 eixos: MP130-3
- Combinável com a fase rotativa DT130
- Opção em aço inoxidável para maior rigidez
- Versão para sala limpa, vácuo e EUV
Campos de aplicação
Posicionamento em espaços pequenos, por exemplo, câmara, microscópio (AFM, WLI), configuração de sistemas multi-eixos XYZ de espaço mínimo, manipulador para a indústria e investigação, sistemas compactos de posicionamento em salas limpas, inspeção de bolachas, alinhamento de câmaras de bolachas
Dados técnicos:
- Curso: 50 mm, 80 mm
- Capacidade de repetição unidirecional: ± 2,3 µm
- Capacidade de repetição bidirecional: ± 4,3 µm
- Precisão: ± 8,1 µm, ± 9,7 µm
- Velocidade de posicionamento: 20 mm/s
- Aceleração máxima: 0.4 m/s2
- Carga máx. Carga Fx: 45 N
- Carga máx. Carga Fy: 95 N
- Carga máx. Carga Fz: 95 N
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