Mesa de coordenadas linear MT130

elétricade 1 eixode rolos cruzados

MT130 Estágio linear compacto com motor interno A fase linear em miniatura oferece uma excelente retidão e planicidade graças aos rolamentos de rolos. O acionamento está completamente alojado no sistema de posicionamento altamente compacto. - Deslocações até 80 mm em espaços de instalação pequenos (130 x 130 x 43 mm) - Repetibilidade até 2,3 µm - Facilmente empilhável em sistemas multi-eixos compactos Opções: - Disponível com motor DC ou motor de passo - Unidade compacta de 3 eixos: MP130-3 - Combinável com a fase rotativa DT130 - Opção em aço inoxidável para maior rigidez - Versão para sala limpa, vácuo e EUV Campos de aplicação Posicionamento em espaços pequenos, por exemplo, câmara, microscópio (AFM, WLI), configuração de sistemas multi-eixos XYZ de espaço mínimo, manipulador para a indústria e investigação, sistemas compactos de posicionamento em salas limpas, inspeção de bolachas, alinhamento de câmaras de bolachas Dados técnicos: - Curso: 50 mm, 80 mm - Capacidade de repetição unidirecional: ± 2,3 µm - Capacidade de repetição bidirecional: ± 4,3 µm - Precisão: ± 8,1 µm, ± 9,7 µm - Velocidade de posicionamento: 20 mm/s - Aceleração máxima: 0.4 m/s2 - Carga máx. Carga Fx: 45 N - Carga máx. Carga Fy: 95 N - Carga máx. Carga Fz: 95 N