Mesa de coordenadas com base giratória DT105
piezoelétricade 2 eixosde circuito fechado

Mesa de coordenadas com base giratória - DT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelétrica / de 2 eixos / de circuito fechado
Mesa de coordenadas com base giratória - DT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelétrica / de 2 eixos / de circuito fechado
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Características

Orientação
com base giratória
Tipo
piezoelétrica
Número de eixos
de 2 eixos
Outras características
para manipulação de wafers, de circuito fechado, micrométrica
Velocidade

MÍN: 180 mm/s

MÁX: 270 mm/s

Repetibilidade

MÍN: 0,001 µm

MÁX: 1 µm
(0,00004 in)

Carga

3 kg
(6,61 lb)

Descrição

Plataforma rotativa de alta resolução com abertura HV / UHV, DUV, sala limpa ISO 6, n x 360°, rep 0,0005°, 3 kg de carga, velocidade 270°/s - Sala limpa: variantes até à classe ISO 6 (superior a pedido) - Vácuo: todas as gamas HV / UHV até 10-11 mbar - Lubrificação líquida até 10-8 mbar / configuração especial seca até 10-11 mbar - Temperatura máx. Temperatura máxima de cozedura: 100°C Opcionalmente configurável: - Disponível nas versões magnética e pouco magnética (sem ímanes como configuração especial) configuração especial) - Seleção do material e lubrificação adaptados à aplicação - Opcional com o controlador FMC400/450 - Desenvolvimento personalizado com design 3D, protótipos, produção em série Imagens de alta resolução num espaço de instalação limitado Esta plataforma rotativa compacta e plana atinge resoluções extremamente elevadas no vácuo durante processos rápidos. A luz transmitida de 36 mm permite o posicionamento preciso, a medição e a análise de pequenas amostras. Pode ser combinada em sistemas multi-eixos exigentes e é facilmente controlada pelos nossos controladores FMC 400/450. Campos de aplicação Microscopia dinâmica e de alta precisão, por exemplo, AFM, microscópio eletrónico, microscópio de iões, microscópio eletrónico de varrimento, microscópio de tunelamento de varrimento, microscopia de laboratório, sistemas de imagem, análise de amostras, instrumentação de linha de luz, sincrotrão, investigação de materiais, análise de materiais

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