Mesa de coordenadas com base giratória DT155

piezoelétricade 1 eixocompacta

Plataforma rotativa de alta resolução com grande abertura UHV, DUV / EUV, sala limpa ISO 6, n x 360°, rep 0,0003°, velocidade 300°/s, carga 5 kg - Sala limpa: variantes até à classe ISO 6 (superior a pedido) - Vácuo: todas as gamas HV / UHV até 10-11 mbar - Lubrificação: líquida até 10-8 mbar / seca até 10-11 mbar - Temperatura máx. Temperatura máxima de cozedura: 100°C Opcionalmente configurável: - Disponível nas versões magnética e pouco magnética (sem ímanes a pedido) - Seleção do material e lubrificação adaptados à aplicação - Opcional com o controlador FMC400/450 - Desenvolvimento personalizado com design 3D, protótipos, produção em série Imagens dinâmicas e de alta precisão Esta plataforma rotativa compacta e plana atinge resoluções extremamente elevadas no vácuo durante processos rápidos. Devido à grande luz transmitida de 79 mm / 3", mesmo amostras grandes podem ser posicionadas, medidas e analisadas com precisão. Pode ser combinada em sofisticados sistemas multi-eixos e pode ser facilmente controlada através dos nossos controladores FMC 400/450. Campos de aplicação Microscopia dinâmica e de alta precisão, por exemplo, microscópio eletrónico, microscópio de iões, microscópio eletrónico de varrimento, microscópio de tunelamento de varrimento, instrumentação de linha de luz, sincrotrão, investigação de materiais, análise de materiais, inspeção de bolachas, controlo de qualidade de semicondutores, investigação de semicondutores