Mesa de coordenadas XYZ MP53

piezoelétricade 3 eixosde rolos cruzados

Microposicionador rápido e preciso HV / UHV / EUV, curso de 20 - 50 mm, repetibilidade de 0,2 µm, carga de 1 kg - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV - Líquido de lubrificação até 10-8 / seco até 10-11 mbar - Temperatura máx. Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opcionalmente configurável: - Disponível nas versões magnética, de baixo magnetismo e sem magnetismo - Diferentes variantes de motor: Motor piezoelétrico ou nanomotion - Opcionalmente, com sistema de medição de alta resolução para uma repetibilidade até 0,005 µm - Pode ser combinado com mesas rotativas para aplicações rotativas - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1, a pedido) - Opcionalmente com controlador FMC400/450 Manipulador XYZ miniaturizado para aplicações dinâmicas ou de alta precisão O manipulador é um sistema de 3 eixos altamente dinâmico para movimentos X, Y e Z num espaço de instalação muito limitado. São efectuados cursos até 50 mm. O manipulador está equipado com motores piezoeléctricos e pode assim realizar incrementos de posicionamento de alguns nanómetros para aplicações de alta precisão em alto vácuo e ultra-alto vácuo. Opcionalmente equipado com um nanomotor, é particularmente adequado para posicionamento altamente dinâmico e de alta precisão. Áreas de aplicação Posicionamento de precisão em espaços muito reduzidos para aplicações laboratoriais, microscopia e tecnologia de semicondutores, investigação em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, preparação de amostras, digitalização de amostras, manuseamento de amostras, ajuste de câmaras, ajuste de sensores, investigação de materiais, análise de materiais, linha de luz, acelerador, sincrotrão, miniaturização