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Mesa de coordenadas linear LA97-MT85
piezoelétricade 2 eixosde precisão

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
piezoelétrica
Número de eixos
de 2 eixos
Outras características
de precisão, industrial, para manipulação de wafers
Curso

MÁX: 200 mm
(7,874 in)

MÍN: 20 mm
(0,787 in)

Velocidade

MÁX: 10 mm/s

MÍN: 5 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 30 µm
(0,00118 in)

MÍN: 0,02 µm

Carga

MÁX: 20 kg
(44,09 lb)

MÍN: 2 kg
(4,41 lb)

Descrição

Vertical precisoLA97-MT85 Aplicação: Manipulador multiusos Vantagem: para digitalização de alta resolução Características: Posicionamento com resolução muito alta - Vácuo: todas as gamas de pressão HV / UHV até 10-11 - Magnetismo: magnético - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Temperatura máx. Temperatura máxima de cozedura: 80°C Opções: - Seleção do material e lubrificação por vácuo adaptados à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Opcionalmente com unidade de controlo FMC400/450 - Dados técnicos - Gama de deslocação: 20 mm - 200 mm - Precisão de repetição: ± 0,02 µm (unidirecional) ± 0,03 µm (bidirecional) - Carga: → 200 N / ↑ 20 N - Velocidade máxima. Velocidade: 10 mm/s - Motor: Motor Piezo - Guia: Rolamento de rolos cruzados em aço inoxidável, híbrido, cerâmica opcional - Feedback: Sistema de medição linear - Sistema de medição de resolução: 0.001 µm - 0,1 µm

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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