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- Manipulador elétrico
- Steinmeyer Holding GmbH
Manipulador elétrico 3LT300a vácuode posicionamentode 3 eixos
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Características
- Acionamento
- elétrico
- Preensão
- a vácuo
- Aplicações
- de posicionamento
- Outras características
- de 3 eixos
- Curso máximo
10 mm
(0 in)
Descrição
manipuladores de 3 eixos a partir de três LT300
Aplicação: Sistema de posicionamento de 3 eixos HV
Vantagem: extremamente estável ao atingir a posição, duplo seco
Características: Estabilização com travão piezoelétrico
- Vácuo: todas as gamas de pressão HV / UHV até 10-11
- Magnetismo: magnético
- Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar
- Temperatura máx. Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Opções:
- Seleção de materiais e lubrificação por vácuo adaptados à aplicação
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Opcionalmente com unidade de controlo FMC400/450
Dados técnicos
- Gama de deslocação: 10 mm - 100 mm
- Precisão de repetição:
± 4 µm (unidirecional)
± 5µm (bidirecional)
- Carga: → 200 N / ↑ 20 N
- Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s
- Motor: Motor Piezo
- Guia: Rolamento de rolos cruzados, aço inoxidável, híbrido
- Feedback: Sistema de medição linear, circuito aberto
- Sistema de medição de resolução: 0.001 µm - 0,1 µm
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