Mesa de coordenadas linear MT130

elétricade 1 eixode precisão

MT130 Plataforma linear miniatura EUV 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, curso até 50 mm, rep 2,3 µm, carga 9 kg, velocidade 40 mm/s - Sala limpa: variantes até à classe ISO 5 (superior a pedido) - Vácuo: todas as gamas HV / UHV - Feixe: EUV, DUV, UV - Lubrificação líquida até 10-8 / seca até 10-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Empilhável para formar um sistema de posicionamento compacto de 3 eixos: MP130-3 - Combinável com o estágio rotativo DT130 - Gama de deslocação até 80 mm - Sistema de medição de alta resolução - Lubrificação EUV, lubrificação UHV sem farinha / sem PFAS - Desenvolvimento personalizado com design 3D, protótipos, produção em série Eixo linear EUV compacto com motor interno O estágio linear em miniatura atinge valores de funcionamento muito bons com rolamento de rolos cruzados sem folga. O acionamento está integrado no sistema de posicionamento altamente compacto. O sistema de posicionamento está também equipado com um travão magnético permanente. Campos de aplicação Posicionamento em pequenas dimensões em salas limpas EUV, p. ex. câmara, microscópio / sensor (AFM, WLI), construção de sistemas multi-eixos XYZ economizadores de espaço, alinhador para a indústria e investigação, sistemas compactos de posicionamento em salas limpas, inspeção de bolachas, alinhamento de sondas de bolachas