Mesa de coordenadas linear MT85

piezoelétricade 1 eixode precisão

MDT85-PM Estágios lineares e eixos em vácuo / sala limpa - Sala limpa: variantes até à classe ISO 6 (superior a pedido) - Vácuo: todas as gamas HV / UHV - Feixe: UV / DUV / EUV - Lubrificação: líquida até 10-8 / seca até 10-11 mbar - Temperatura máx. Temperatura máxima de cozedura: 140°C Opções: - Com ou sem abertura (Ø 25 mm) - Empilhável num sistema de posicionamento compacto de 3 eixos - Magnetismo: magnético, de baixo magnetismo, sem magnetismo - Lubrificação EUV, lubrificação UHV sem farinha / sem PFAS - Desenvolvimento personalizado com design 3D, protótipos, produção em série Campos de aplicação Posicionamento em pequenas dimensões na sala limpa EUV, p. ex. câmara, microscópio / sensor (AFM, WLI), medições de transiluminação, posicionamento de microscopia, configuração de sistemas multi-eixos XYZ economizadores de espaço, manipulador para a indústria e investigação, sistemas compactos de posicionamento em salas limpas, alinhamento de semicondutores, inspeção de feixes