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Mesa de coordenadas linear PLT240
elétricade 1 eixode precisão

Mesa de coordenadas linear - PLT240 - Steinmeyer Holding GmbH - elétrica / de 1 eixo / de precisão
Mesa de coordenadas linear - PLT240 - Steinmeyer Holding GmbH - elétrica / de 1 eixo / de precisão
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Características

Orientação
linear
Tipo
elétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, industrial, para manipulação de wafers, alta carga
Curso

MÍN: 200 mm
(7,874 in)

MÁX: 850 mm
(33,465 in)

Velocidade

MÍN: 15 mm/s

MÁX: 30 mm/s

Repetibilidade

MÍN: 0,4 µm

MÁX: 0,5 µm

Carga

MÍN: 20 kg
(44,09 lb)

MÁX: 101 kg
(222,67 lb)

Descrição

PLT240 Plataforma linear precisa de alta carga HV / UV / DUV, ISO 6, curso 50 - 850 mm, carga 100 kg, rep 0,4 µm, largura 240 - Sala limpa: variantes até à classe ISO 6 (superior a pedido) - Vácuo: todas as áreas em alto vácuo, líquido de lubrificação até 10-7 - Temperatura máxima de cozedura Temperatura máxima de cozedura: 80°C Opções - Parafuso de avanço com lubrificação a seco ou parafuso de esferas com lubrificação líquida - Conceção para sala limpa, vácuo e feixe - Conceção para atmosfera de azoto - Desenvolvimento personalizado com desenho 3D, protótipos, produção em série - Opcional com o controlador FMC400/450 Campos de aplicação Fabrico e manuseamento de semicondutores, posicionamento DUV de alta carga, posicionamento para aplicações de digitalização, posicionamento de transferência, tecnologia de semicondutores, ultra-alto vácuo, câmaras de vácuo, investigação, instrumentação de linha de luz, montagem e inspeção de eletrónica

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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