PLT240
Plataforma linear precisa de alta carga
HV / UV / DUV, ISO 6, curso 50 - 850 mm, carga 100 kg, rep 0,4 µm, largura 240
- Sala limpa: variantes até à classe ISO 6 (superior a pedido)
- Vácuo: todas as áreas em alto vácuo, líquido de lubrificação até 10-7
- Temperatura máxima de cozedura Temperatura máxima de cozedura: 80°C
Opções
- Parafuso de avanço com lubrificação a seco ou parafuso de esferas com lubrificação líquida
- Conceção para sala limpa, vácuo e feixe
- Conceção para atmosfera de azoto
- Desenvolvimento personalizado com desenho 3D, protótipos, produção em série
- Opcional com o controlador FMC400/450
Campos de aplicação
Fabrico e manuseamento de semicondutores, posicionamento DUV de alta carga, posicionamento para aplicações de digitalização, posicionamento de transferência, tecnologia de semicondutores, ultra-alto vácuo, câmaras de vácuo, investigação, instrumentação de linha de luz, montagem e inspeção de eletrónica
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