Sistema de posicionamento para inspeção de wafers e metrologia KT470-SM

XYZlinearpara sala limpa

Este sistema de inspeção consiste no XY-Stage KT470 numa estrutura de granito com uma unidade Z-vertical manual. Esta combinação é adequada para a conceção flexível e modular de sistemas de produção / processos em linha para salas limpas e pode ser opcionalmente alargada com eixos Z rotativos ou motorizados. Ideal para processos de inspeção flexíveis de wafers até 12 polegadas / 300 mm Suporte para cabeças de processo intercambiáveis (microscópio, sensor, ...) Várias gamas de varrimento e ajuste manual da altura (opcionalmente motorizado com controlador de movimento) Baixa manutenção para produção 24/7 até à classe de sala limpa ISO 6 (superior a pedido) Opções: Gama de deslocação extensível XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm Adaptação ao processo: abertura, suporte de amostras, extensão de eixos Z adicionais (motorizados) Desacoplamento adaptado das vibrações através de uma camada intermédia de borracha amortecedora ou de amortecedores pneumáticos Conceito e tecnologia de segurança (paragem de emergência, interrutor de porta, cortina de luz, scanner laser, STO, SLS) Design personalizado com estrutura, invólucro ou integração na fábrica Desenvolvimento específico para o cliente com design 3D, protótipos, produção em série