- Vakuum: todas as gamas HV / UHV até 10E-8 mbar
- Líquido de lubrificação até 10E-8
- Temperatura máxima de cozedura: 100°C
- Abertura em X com 90 x 90 mm, Y 150 x 150 mm
O sistema de posicionamento com abertura foi combinado a partir de duas fases lineares para conceber uma fase XY precisa e pesada para aplicações em alto vácuo e vácuo ultra-alto. O seu conceito com guias de perfil e fusos de esferas de alta precisão permite uma precisão excepcional com uma utilização óptima do espaço de instalação.
Pode ser facilmente combinado com a fase rotativa DT155, resultando numa vasta gama de aplicações.
Campos de aplicação
Posicionamento de precisão para aplicações laboratoriais, tecnologia de microscopia e semicondutores, investigação em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, preparação de amostras, digitalização de amostras, manipulação de amostras, biochips, inspecção de bolachas, alinhamento de bolachas, ajuste da câmara, investigação de materiais, análise de materiais, linha de feixe, acelerador, sincrotrão
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