Nanoposicionador XY KLT300 series

motorizadode 2 eixoscompatível com vácuo

- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10-11 mbar - Líquido de lubrificação até 10-8 / secar até 10-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C - Abertura: 80 x 80 mm Opcionalmente configurável: - Com e sem sistema de medição - Opcionalmente com accionamento por parafuso de chumbo ou por parafuso de esferas lubrificado para velocidades mais elevadas - Pode ser combinado com mesas rotativas (por exemplo, DT155) para aplicações rotativas - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Desenho para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcionalmente com controlador FMC400/450 A maior estabilidade na gama de nanómetros, mesmo em funcionamento a seco O sistema de posicionamento com abertura para luz transmitida foi combinado a partir de dois estágios lineares LT300 para formar um estágio XY preciso e pesado para aplicações em alto vácuo, vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema. O sistema funciona completamente sem lubrificantes. O seu conceito de guias de rolos cruzados e parafuso de chumbo permite uma estabilidade enormemente elevada na gama de nanómetros. Opcionalmente, este sistema pode ser concebido com accionamentos com parafusos de esferas lubrificados para velocidades mais elevadas. Campos de aplicação Posicionamento preciso de cargas pesadas, pesquisa em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, preparação de amostras, digitalização de amostras, manipulação de amostras, biochips, alinhamento de câmaras, pesquisa de materiais, análise de materiais, linha de feixe, acelerador, sincrotrão