Mesa de coordenadas compatível com vácuo MT105 series

linearpiezoelétricacom motor linear

- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - líquido de ubricação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opcionalmente configurável: - Disponível em versão magnética, baixa magnética e sem magnéticos - Com até 2 motores diferentes para o movimento de cargas elevadas - Diferentes variantes do motor: Nanomotion, motor piezo ou motor linear - Combinável com o sistema de posicionamento XYZ - Combinável com mesas rotativas (por exemplo, DT105) para aplicações rotativas - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Flexível e universal para condições ambientais exigentes O MT105 é um micro estágio universalmente aplicável que impressiona sobretudo pela sua alta dinâmica e velocidade. Foi concebido para alcançar uma excelente precisão de funcionamento e posicionamento em condições extremas, tais como em alto vácuo, vácuo ultra-alto e para aplicações não magnéticas. Opcionalmente, o microestágio pode ser equipado com dois motores para posicionar cargas mais elevadas. Campos de aplicação Tecnologia de semicondutores em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, alinhamento de wafers, alinhamento de câmaras, alinhamento de sensores, inspecção de contactos, alinhamento de espelhos, sondagem, câmaras de vácuo, investigação, instrumentação de linha de feixe, montagem e inspecção de electrónica, aplicações de digitalização de alta precisão, micro-montagem