Mesa de coordenadas compatível com vácuo LT300 series

linearmotorizadade 1 eixo

- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Líquido de lubrificação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C - Sala limpa classe 4 ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Vida muito longa, mesmo com funcionamento a seco Opcionalmente configurável: - Disponível com piezo break - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Estabilidade na gama de nanómetros mesmo com cargas elevadas até 10 kg A fase linear é concebida para posicionar cargas com elevada rigidez em condições extremas, tais como em alto vácuo e vácuo ultra-alto. Equipado com um travão de compasso piezoeléctrico, este sistema de posicionamento atinge estabilidade na gama de nanómetros. Campos de aplicação Tecnologia de semicondutores em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, alinhamento de bolachas, inspecção de bolachas, alinhamento de câmaras, alinhamento de sensores, inspecção de contactos, alinhamento de espelhos, sondagem, câmaras de vácuo, investigação, instrumentação de linha de feixe, montagem e inspecção de electrónica, aplicações de digitalização de alta precisão