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  1. Mecânica - Transmissão de potência
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video corpo

Mesa de coordenadas compatível com vácuo LA170 series
XYZmotorizadamultieixos

mesa de coordenadas compatível com vácuo
mesa de coordenadas compatível com vácuo
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Características

Orientação
XYZ
Tipo
motorizado
Número de eixos
multieixos
Outras características
de alta precisão, compatível com vácuo, para microscópio, para carga pesada, com motor de passo encastrável, com controlador, para manipulação de wafers, de rolos cruzados
Curso

60 mm, 130 mm
(2,362 in, 5,118 in)

Velocidade

5 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 4 µm

MÍN: 0,5 µm

Descrição

- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Líquido de lubrificação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C - Disponível como versão magnética Opcionalmente configurável: - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 É utilizado como um componente poderoso para sistemas multi-eixos, bem como para digitalizar várias amostras simultaneamente. Permite um posicionamento altamente fino com cargas elevadas em vácuo ultra-alto, mesmo na direcção vertical. Áreas de aplicação Configuração de sistemas multi-eixos, automatização de processos, varrimento 3D, varrimento de amostras, posicionamento de sistemas de imagem, microscopia, análise de amostras, inspecção de semicondutores, garantia de qualidade em biotecnologia e tecnologia de semicondutores, investigação, linha de feixe, acelerador, sincrotrão

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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