Mesa de posicionamento vertical HDT255 series

motorizadade precisãopara carga pesada

- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10-11 mbar - Líquido de lubrificação até 10-8 / secar até 10-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C - Sala limpa classe 4 ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Disponível como versão magnética Opcionalmente configurável: - Com ou sem abertura - Viagens diferentes - Opcionalmente com e sem sistema de medição - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Opcionalmente com controlador FMC400/450 Etapa de elevação precisa para cargas elevadas A fase de elevação com abertura é adequada para movimentos verticais de alta precisão em condições extremas, tais como em alto vácuo, vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema. Devido ao seu princípio de elevação, atinge os seus parâmetros apesar de uma baixa altura global de 125 mm. A combinação de motor passo a passo e um parafuso de esferas preciso, opcionalmente de deslizamento, permite tamanhos de degraus mais pequenos com cargas comparativamente elevadas. Áreas de aplicação Campos de aplicação Posicionamento de precisão na indústria e investigação em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, alinhamento e inspecção de bolachas, cartões de sonda e placas de circuito impresso, análise de superfície, medição de espessura de camadas, alinhamento de câmaras, investigação de materiais, análise de materiais, inspecção, microscopia em vácuo, linha de feixe, acelerador, sincrotrão