Sistema de posicionamento XYZ 217999
linearpara inspeção de wafers e metrologiacom motor CC

sistema de posicionamento XYZ
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Características

Número de eixos
XYZ
Construção
linear
Aplicações
para inspeção de wafers e metrologia
Outras características
com motor CC, de alta resolução, com fuso de esferas, de rolamentos de rolos cruzados
Repetibilidade

0,3 mm
(0,01181 in)

Descrição

Sistema de medição XYZ para cargas variáveis e móveis | Fuso de esferas XYZ, rolo transversal, motor CC, sistema de medição linear Medições de alta precisão mesmo com cargas variáveis Este sistema de posicionamento XYZ é especialmente concebido para medições de alta precisão de cargas variáveis e objectos em movimento. Se objectos de diferentes classes de peso tiverem de ser medidos um após o outro, as fases de medição convencionais atingem rapidamente os seus limites. Este sistema de medição XYZ oferece uma solução para este problema. Perfeita planeza e retidão para amostras até 30 kg - Ideal para medições de peças ou a captura de perfis 3D em peças altas - Medições de alta precisão independentes da carga de ± 1 µm, mesmo com objectos em movimento - Redução drástica dos erros de medição para menos de 5 µrad - Retilinidade perfeita com ± 0,5 µm e planaridade a ± 1 µm - Interface independente de planicidade e possibilidades de ajuste Opcionalmente configurável: - Diferentes variantes do motor: Motor CC ou motor passo-a-passo - Movimentos rotacionais em combinação com o DT130 ou DT200 - Configuração especial para biotecnologia, tecnologia médica, produtos farmacêuticos, semicondutores - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Ler para usar com controlador pré-configurado incl. software exemplar

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