Sistema de posicionamento de 3 eixos 782300:113.26

XYZlinearpara inspeção de wafers e metrologia

Sistema XYZ para Inspecção de Laboratório e Wafer | Fuso de esferas, Motor CC, Rolo Cruzado, Sistema de Medição Linear Sistema de 3 eixos de alta precisão e modular Esta combinação XY com unidade vertical Z separada consiste nos eixos lineares padrão de alta precisão e durabilidade do PMT160. Esta combinação é adequada para todas as aplicações que exijam uma planicidade perfeita, tolerâncias mais pequenas para o passo e a guinada, e um comportamento de funcionamento suave. O sistema XYZ está pronto a ser utilizado com o controlador bem como com o software e funciona com parâmetros fiáveis. Flexível, instantaneamente operacional e testado - Ideal para a criação e expansão da sua aplicação - Repetibilidade de alta precisão até 0,5 µm - Passos mais pequenos e maior fiabilidade a uma velocidade de posicionamento comparativamente elevada de 50 mm/s - Plana perfeita de ± 1 para posicionamento de cargas médias até 150 N Expansível opcionalmente: - Percursos diferentes por eixo de 50 - 300 mm - Movimentos rotacionais em combinação com o DT130 ou DT200 - Várias variantes do motor: Motor CC, motor passo a passo, motor linear e nanomotion - Utilização imediata com controlador pré-configurado incl. software exemplar - Versões para sala limpa ISO 14644-1