Sistema de posicionamento XYZ 782300:193.26

linearpara inspeção de wafers e metrologiapara controle da qualidade

Sistema XYZ para inspecção e controlo de qualidade | XY motor DC, rolo transversal| Z motor DC, fuso de esferas, sistema de medição linear Inspecção de alta precisão com taxa de erro mínima O sistema de posicionamento permite o posicionamento ao longo de três eixos lineares. Nesta unidade, um estágio linear PMT160 é montado sobre uma mesa transversal KT470 com um suporte adaptador. Atinge baixos erros de excentricidade, em termos de retidão e planicidade, que são conseguidos através da utilização de rolos cruzados. Isto resulta numa repetibilidade acima da média, que é a base para uma boa compensação. Isto permite uma precisão extremamente elevada para aplicações de medição. Ideal para controlo de qualidade óptica - Elevadíssima precisão e repetibilidade até 0,3 µm - Posicionamento de cargas até 150 N com uma tracção económica - Altas velocidades até 50 mm/s - Redução dos erros aleatórios ao mínimo - Fácil integração e combinação flexível com sistemas de câmara e sensores existentes Expansível opcionalmente: - Viagens diferentes no eixo Z de 50 - 300 mm - Várias variantes do motor: Motor CC ou motor passo-a-passo - Utilização imediata com controlador pré-configurado incl. software exemplar - Versões para sala limpa ISO 14644-1