Sistema de posicionamento XYZ 782300:222.26

linearpara inspeção de wafers e metrologiapara a indústria dos semicondutores

Inspecção automatizada de bolachas em linha XYZ com grande capacidade de amostras Este sistema de inspecção foi especialmente concebido para o controlo automático da qualidade de suportes grandes e planos até 50 kg. O sistema de posicionamento permite o posicionamento simultâneo do sensor em Z e do espécime em XY sobre uma pegada muito compacta. O sistema robusto também permite a utilização de sensores pesados ou sistemas de câmara até 20 kg em Z. O accionamento do fuso, em combinação com um travão do fuso, garante uma óptima auto-posicionamento, para que uma posição vertical possa ser mantida no estado desenergizado. O sistema fechado de baixas emissões é também adequado para ambientes industriais agressivos sob poeira e fumo. Um sistema de suspensão foi ligado ao granito para o encaminhamento de cabos. Desenho compacto com relação preço/desempenho optimizada - Ideal para inspecção de superfície de grandes transportadores até 650 x 650 mm - Medição precisa com repetibilidade até 2 µm - Boa relação preço-desempenho devido à condução com motor passo-a-passo - Eixo Z forte e robusto para sensores, microscópios e câmaras até 20 kg - Adequado para ambientes industriais, por exemplo, pó, fumo Opcionalmente expansível: - Várias viagens até 1000 mm - Com/sem armação e placa de base em granito ou alumínio - Versões ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido), por exemplo, com invólucro e com sistema de escape - Soluções individuais para encaminhamento de cabos - Desacoplamento vibratório adaptado por meio de camada de borracha amortecedora ou amortecedores pneumáticos - Utilização imediata com controlador pré-configurado incl. software exemplar