Sistema de posicionamento de um eixo 782424:005.26

linearrotativopara inspeção de wafers e metrologia

X Sistema de posicionamento Phi para inspecção de bolachas, amostras biológicas (sala limpa ISO 5) | eixo rotativo e fase linear - Inspecção e Mikroscopia Posicionamento linear-rotatório de alta precisão Este sistema X Phi permite o posicionamento de amostras (por exemplo bolachas, amostras biológicas) num ângulo precisamente definido em relação ao sensor ou à câmara. Consiste num eixo X linear, o estágio linear padrão preciso PMT160 com fuso de esferas, e uma unidade rotativa integrada com curso ilimitado, accionada por correias planas. Para uma aptidão de sala limpa, as guias de cabo tanto para o sistema de medição centrado como para a unidade rotativa móvel foram alojadas dentro do recinto do sistema linear. Os foles selam o sistema a partir do exterior para evitar a emissão de partículas. Sistema de posicionamento sem manutenção para salas limpas - Ideal para tarefas de inspecção em tecnologia de semicondutores, biotecnologia e indústria farmacêutica - Medição de alta precisão com repetibilidade de até 0,3 µm - A excelente planicidade da fase linear permite a medição da espessura do revestimento de alta precisão com apenas um sensor - Redução da emissão de partículas para ISO classe 5 por alojamento e fole - Operação contínua industrial, sem manutenção e troca simples do sistema na placa de base Expansível opcionalmente: - Outras versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Placa de base em granito ou alumínio - Motores especiais hermeticamente selados com aprovação farmacêutica - Versões para condições ambientais extremas, por exemplo, radiação, vácuo - Expansível para aplicação completa específica do cliente - Utilização imediata com controlador pré-configurado incl. software exemplar