Mesa de coordenadas compatível com vácuo LA92-40-LM-L

linearmotorizadade 1 eixo

Eixo Linear de Alta Velocidade HV / UHV / EUV, 40 mm de percurso, 0,4 µm de repetibilidade, até 2 kg de carga Vácuo: todas as áreas HV / UHV até 10E-11 mbar Líquido de lubrificação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opcionalmente configurável: - Versões magnéticas, de baixa magnética e sem ímanes disponíveis - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema rápido de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Rápido posicionamento horizontal e vertical em UHV O eixo linear é utilizado principalmente para a digitalização de amostras. Permite o posicionamento rápido com resolução extremamente alta em vácuo ultra-alto, também no sentido vertical. Tem um desenho muito estreito com motores internos. Áreas de aplicação Aplicações de alta resolução e digitalização rápida, micro montagem, tecnologia de semicondutores em vácuo ultra-alto, câmaras de vácuo, investigação, instrumentação de linha de feixe, montagem e inspecção electrónica.