Fase de digitalização com grande abertura
Esta grande etapa xy de precisão foi concebida para a máxima repetibilidade. A precisão pode ser obtida com compensação de forma a poupar custos, que de outra forma só é reservada para sistemas de rolamentos de ar. As guias de rolos cruzados polidos são utilizadas para repetibilidade de retilinidade e planicidade de + -0,15 µm.
Com a grande luz transmitida, os grandes substratos também podem ser medidos de ambos os lados ou com fluoroscopia. Oferece também a opção de medição diferencial para tirar partido da precisão total do sensor em aplicações de medição. Mesmo quando a fase é totalmente deslocada, é sempre mantida uma abertura de pelo menos 60mm x 60mm.
As aplicações de digitalização mais rápidas com alta aceleração
Resultados de varrimento extremamente rápidos através de uma velocidade de posicionamento de 330 mm/s
Digitalizar cargas elevadas com uma resolução extrema de 0,05 µm
Optimizado em termos de custos para alcançar o desempenho comparável dos sistemas de rolamentos de ar
Operação sem manutenção até 500.000 golpes completos, depois só é necessária uma simples relubrificação
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Expectativa de vida até dois milhões de traços completos
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gestão integrada de cabos, terminal de encaixe
Campos de aplicação
Aplicações de digitalização rápida e viagens dinâmicas na rede, por exemplo, inspecção de semicondutores, sistemas de medição, inspecção óptica automática (AOI), dispositivos de medição, medição diferencial, substituição de sistemas de suporte de ar
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