Sistema de microposicionamento sob alto vácuo MP105-3 series

de 3 eixosXYZpiezoelétrico

Microposicionador rápido e preciso - HV / UHV / EUV, curso 20 - 50 mm, repetibilidade de 0,2 µm, carga de 1 kg - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV - Líquido de lubrificação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opcionalmente configurável: - Disponível em versões magnéticas, de baixa magnética e sem ímanes - Diferentes variantes do motor: Piezo motor ou nanomotion - Opcionalmente com sistema de medição de alta resolução para repetibilidade até 0,005 µm - Pode ser combinado com mesas rotativas para aplicações rotativas - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcionalmente com controlador FMC400/450 Manipulador XYZ miniaturizado para aplicações dinâmicas ou de alta precisão O manipulador é um sistema altamente dinâmico de 3 eixos para movimentos X, Y e Z em espaço de instalação muito limitado. São realizados golpes até 50 mm. O manipulador está equipado com motores piezoeléctricos e pode assim realizar incrementos de posicionamento de alguns nanómetros para aplicações de alta precisão em alto vácuo e vácuo ultra-alto. Opcionalmente equipado com uma nanomotion, é particularmente adequado para posicionamentos altamente dinâmicos e de alta precisão. Áreas de aplicação Posicionamento de precisão em espaços muito pequenos para aplicações laboratoriais, tecnologia de microscopia e semicondutores, investigação em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, preparação de amostras, digitalização de amostras, manipulação de amostras, ajuste de câmaras, ajuste de sensores, investigação de materiais, análise de materiais, linha de feixe, acelerador, sincrotrão, miniaturização