Sistema de microposicionamento sob alto vácuo MP53-3-PM-10-PM-L

de 3 eixosXYZpiezoelétrico

MP53-3-PM - Sistemas multieixos compactos de vácuo Microposicionador de alta resolução - HV / UHV / EUV, curso 10 mm, repetibilidade 0,2 µm, carga 0,5 kg - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV - Líquido de lubrificação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opcionalmente configurável: - Disponível em versão magnética, de baixa magnética e sem íman - Opcionalmente com sistema de medição de alta resolução para repetibilidade até 0,005 µm - Combinável com fases rotativas para aplicações rotativas - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com Controlador FMC400/450 Manipulador XYZ miniaturizado para aplicações exigentes O manipulador MP53 é um sistema miniaturizado de 3 eixos para movimento X, Y e Z em espaço de instalação muito limitado. São realizados intervalos de viagem de 10 mm. O manipulador está equipado com motores piezoeléctricos e pode assim realizar incrementos de posicionamento de alguns nanómetros para aplicações de alta precisão em alto vácuo e vácuo ultra-alto. Áreas de aplicação Posicionamento preciso no menor espaço de instalação para aplicações laboratoriais, tecnologia de microscopia e semicondutores, pesquisa em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, preparação de amostras, digitalização de amostras, manipulação de amostras, ajuste de câmaras, ajuste de sensores, pesquisa de materiais, análise de materiais, linha de feixe, acelerador, sincrotrão, miniaturização