Sistema de posicionamento XYZ 782300:150.26.AB
linearverticalhorizontal

Sistema de posicionamento XYZ - 782300:150.26.AB - Steinmeyer Mechatronik GmbH - linear / vertical / horizontal
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Características

Número de eixos
XYZ
Construção
linear, vertical, horizontal, de pórtico
Aplicações
para inspeção de wafers e metrologia, de feixes óticos, para a indústria dos semicondutores, para aplicações higiênicas, para sala limpa
Outras características
para placas de granito, com fuso de esferas, com motor linear, com trilho perfilado, com servoacionamento
Repetibilidade

1 µm

Descrição

O desenho do pórtico permite movimentos altamente dinâmicos numa área de 1.000 x 800 mm (adaptados à aplicação e ao espaço disponível) com uma repetibilidade de 0,3 µm, garantindo assim um elevado rendimento com qualidade consistente. No nível horizontal XY, motores lineares integrados asseguram velocidades de processo de 500 mm/s, enquanto no eixo vertical Z o servo CA atinge valores até 200 mm/s. A cabeça ou sensor de processamento personalizado no eixo Z move-se rápida e suavemente sobre os portadores no granito. O traverso é adequado para cargas até 10 kg, enquanto a altura pode variar até 500 mm dependendo da aplicação e da altura dos componentes. Variedade de opções de personalização individual - Base ideal para sistemas de inspecção no fabrico de semicondutores ou ópticas - Viagens muito grandes de 1300 x 800 mm - Altamente dinâmico para velocidades máximas de até 1000 mm/s - Motores lineares integrados garantem acelerações e velocidades elevadas com alta precisão simultânea - Acionamento de alta precisão e longa duração em Z através de um fuso de esferas moído de precisão - Fácil integração ou ligação a sistemas de manipulação automatizados - Carcaça adicional com extracção integrada ou caixa para aplicações até à classe de sala limpa ISO 6 Opcionalmente expansível: - Desenho de sistema empilhável - Adaptação de viagens, combinação de comprimentos, cablagem e controlo de movimento - Combinação com fases de elevação e/ou fases rotativas para a inspecção de geometrias complexas - Interfaces personalizadas disponíveis para fabricação de semicondutores semi-automatizados ou altamente automatizados - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Utilização imediata com controlador de movimento pré-configurado incl. software exemplar

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