O estágio XY com abertura e rolamentos de rolos cruzados oferece alta dinâmica e velocidade para aplicações em alto vácuo, vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema. Em comparação com o seu tamanho, permite passos muito pequenos.
Equipado com um motor piezoeléctrico, atinge os mais pequenos passos na gama de nanómetros com uma estabilidade de posição quase inalcançável. Com uma nanomotion, alcança uma dinâmica muito elevada bem como velocidades elevadas e tem uma vida útil máxima com precisão na gama de micrómetros.
Pode ser facilmente combinado com a fase de elevação do MT105, oferecendo assim muitas possibilidades de aplicação.
Campos de aplicação
Posicionamento de precisão para aplicações laboratoriais, tecnologia de microscopia e semicondutores, investigação em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, preparação de amostras, digitalização de amostras, manipulação de amostras, biochips, inspecção de bolachas, alinhamento de bolachas, ajuste da câmara, investigação de materiais, análise de materiais, linha de feixe, acelerador, sincrotrão
---