O Modelo 470 é um Sensor de Ozônio Dissolvido de última geração projetado para ferramentas de Bancada Molhada de semicondutores e muitos outros processos industriais. Fornece medição contínua de ozono dissolvido em água desionizada ou banhos sulfúricos com concentrações até 150 mg/L. O Modelo 470 é "clean-ready" para processos de semicondutores de alta pureza, e foi projetado para ser simplesmente emendado em linha no loop de recirculação de qualquer ferramenta de bancada úmida com vazões de até 150 SLPM
O Sensor Modelo 470 incorpora uma inovadora tecnologia de sensoriamento de amostras de duplo percurso óptico para proporcionar um desempenho inigualável e eliminar virtualmente a necessidade de uma medição líquida de referência
Uma instalação típica consiste no sensor 470 e um cabo com camisa de Teflon 7 de interligação. O sensor 470 inclui a capacidade de reportar remotamente a concentração que está a ser medida através de sinais analógicos ou digitais para a consola de bancada húmida
Características
- Monitoramento in-situ
- Em linha, capacidade de fluxo total
- Caminho de fluxo em linha recta
- Sem peças móveis
- Sem consumíveis
- Alcance até 150 mg/L
- Calibração remota do zero
- Método de Absorção UV de alta precisão
- Técnica de sensoriamento de amostras com duplo percurso óptico
- Não requer manutenção regular
- Materiais molhados de grau semi-condutor
- Caixa de FRPP Compacto
- Cabo de interconexão em teflon7-jacketed
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