Detector de ozono dissolvido 470

com semicondutorindustrialanalógico

O Modelo 470 é um Sensor de Ozônio Dissolvido de última geração projetado para ferramentas de Bancada Molhada de semicondutores e muitos outros processos industriais. Fornece medição contínua de ozono dissolvido em água desionizada ou banhos sulfúricos com concentrações até 150 mg/L. O Modelo 470 é "clean-ready" para processos de semicondutores de alta pureza, e foi projetado para ser simplesmente emendado em linha no loop de recirculação de qualquer ferramenta de bancada úmida com vazões de até 150 SLPM O Sensor Modelo 470 incorpora uma inovadora tecnologia de sensoriamento de amostras de duplo percurso óptico para proporcionar um desempenho inigualável e eliminar virtualmente a necessidade de uma medição líquida de referência Uma instalação típica consiste no sensor 470 e um cabo com camisa de Teflon 7 de interligação. O sensor 470 inclui a capacidade de reportar remotamente a concentração que está a ser medida através de sinais analógicos ou digitais para a consola de bancada húmida Características - Monitoramento in-situ - Em linha, capacidade de fluxo total - Caminho de fluxo em linha recta - Sem peças móveis - Sem consumíveis - Alcance até 150 mg/L - Calibração remota do zero - Método de Absorção UV de alta precisão - Técnica de sensoriamento de amostras com duplo percurso óptico - Não requer manutenção regular - Materiais molhados de grau semi-condutor - Caixa de FRPP Compacto - Cabo de interconexão em teflon7-jacketed