Sistema de regulação de gás SCI-552

O SCI-552 é um controlador de sistema para sistemas de fornecimento de ozônio que fornece interfaces de controle eletrônico para vários componentes típicos do sistema, incluindo: geradores de ozônio, válvulas EV, controladores de fluxo de massa, controladores de contrapressão, sensores de ozônio Teledyne API 452, sensores de ozônio dissolvido Teledyne API 470 e um resfriador de água. O SCI-552 possui suporte de hardware e software para uma série de funções de intertravamento do sistema. O SCI-552 fornece flexibilidade para o usuário final, permitindo o controle do sistema através da interface de usuário do painel frontal, interface serial MODBUS, ou vários pontos de E/S digitais e analógicos discretos. O SCI-552 foi projetado para suportar dois geradores de ozônio, fornecendo dois canais independentes de saída de ozônio. Características - Suporte remoto RS-232 MODBUS - Controle até 2 Geradores de Ozônio - Interface com até 2 Sensores de Ozono Modelo 452 & Modelo 470 - Controle até 4 Controladores de Fluxo de Massa - Controle até 2 controladores de contrapressão - Controle até 2 Válvulas EV - Controlar um refrigerador de água - Entradas de Intertravamento do Sistema - Controles remotos no nível do sistema e status I/O Aplicações Deposição de Vapor Químico (CVD) - Depósito atômico em camadas (ALD) - Crescimento de óxidos - Condicionamento da superfície - Ashing - Limpeza de Partículas - Remoção Fotoresistente - Outros