A série CAT-O3 de destruidores de ozono decompõe com segurança concentrações elevadas de gás ozono para níveis sub-ppm que estão abaixo dos limites de segurança recomendados para o ozono. O método catalítico de decomposição utiliza um catalisador de óxido metálico para converter passivamente o ozono em oxigénio.
A série CAT-O3 de destruidores de ozono é fabricada a partir de um invólucro de aço inoxidável soldado protegido por um escudo térmico. Foram cuidadosamente concebidos para cumprir os rigorosos requisitos de desempenho de segurança da indústria
Características
- Construção totalmente soldada
- Autónomo
- Tempo de reacção rápido
- Sem consumíveis
- Sem manutenção
- Instalação simples
Semicondutores
- CVD TEOS/Ozono
- ALD
- MOCVD
- Ashers
- Bancadas húmidas
- Ferramentas de pulverização
- Outros
---