As técnicas de fluxo de massa fornecem medições de fluxo de gás FIABLE, REPETÁVEIS e ACURADAS.
Os instrumentos de fluxo de massa HFM-D-300A / HFC-D-302A têm faixas de fluxo de 0-5 sccm a 0-25 slm; usam todos os selos metálicos, fornecem saídas analógicas e digitais, e são construídos em aço inoxidável. Comunicação digital fácil e amigável, com interface de software baseado em Windows disponível.
O autodiagnóstico do sensor, da válvula e do transbordamento estão incluídos nas características digitais. Também é interessante o recurso de auto zero, que detecta quando a válvula é fechada e repõe o zero automaticamente. Estes medidores e controladores de caudal de massa podem armazenar até 10 calibrações de diferentes gamas e gases. Outra característica é o totalizador embutido para monitorar o uso de gás sob condições definidas pelo usuário.
Teste de vazamento
Deposição de filme fino
Fornecimento de Gás de Alta Pureza
Spray de Chama Térmica
Mistura de gás
processo Farmacêutico
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