Vacuômetro Pirani HPM 2002

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A vasta gama premiada da série 2002, medidor de vácuo de sensor duplo, está disponível em dois estilos de montagem, montagem em painel ou montagem de sensor. O HPM-2002, medidor de vácuo de sensor duplo, é um instrumento de montagem em painel com uma unidade de visualização baseada em microprocessador, tubo de medição, e cabo de interconexão. Os dois elementos sensores (microprocessador Pirani e sensor Piezoresistivo), fornecem uma medição precisa do vácuo durante 7 décadas de pressão de 1 X 10-4 a 1000 Torr. Um algoritmo que reside no microprocessador assegura uma transição sem falhas entre os sensores. o HPM-2002-OBE, medidor de vácuo de sensor duplo, é uma versão do medidor montada no sistema. O HPM-2002-OBE fornece todas as características de desempenho da série 2002 numa configuração compacta com a sua escolha de 12 opções de saída de sinal. Aplicações Semicondutor Etch Câmara de pulverização Sistemas de bloqueio de carga Controlo e Teste de Processos Revestimento de Plasma