Vacuômetro com sensor combinado (Piezo/Pirani) VSL

RS485EtherCAT

O transdutor de vácuo VSL foi desenvolvido especialmente para os fechos de carga. O medidor metálico selado utiliza uma tecnologia multi-sensor e combina dois piezos com um sensor Pirani. Assim, o transdutor de vácuo mede a pressão absoluta na gama de 1200 ...1e-4 mbar, bem como a pressão relativa em relação ao ambiente na gama de -1060 ... +340 mbar. Visão geral do transdutor de vácuo VSL com multi-sensor Piezo/Pirani: - Sistema multi-sensor integrado: Dois sensores de diafragma piezoelétrico para monitorizar a bombagem e a ventilação da câmara; o sensor Pirani, que mede até 10-4 mbar, controla a transferência de baixa pressão entre o bloqueio de carga e a câmara de processo, minimizando os eventos de partículas - Interfaces digitais RS485 mais sinal de saída 0-10 V, EtherCAT ou PROFINET - Saída de pressão diferencial para acionar com precisão a função de abertura da porta - Elevada precisão, óptima resolução e excelente estabilidade - Tempo de resposta curto de até 40 ms - Leituras estáveis devido à compensação de temperatura optimizada - Medições independentes do tipo de gás acima de 20 mbar