A combinação do sensor piezoelétrico e do sensor Pirani no transdutor de vácuo analógico VSR oferece uma elevada precisão e uma excelente resolução na gama de vácuo grosso e fino.
MA4 - sinal de saída 4-20 mA
MV - sinal de saída 0-10V
Visão geral do transdutor de vácuo VSR com sensor Piezo/Pirani:
- Sensor combinado Piezo / Pirani com gama de medição alargada 5,0 x 10-5 mbar
- Elevada precisão em toda a gama de medição, incluindo vácuo bruto
- Excelente reprodutibilidade e fiabilidade para processos de produção estáveis
- Medição independente do tipo de gás em baixo vácuo
- Tempo de resposta rápido de até 18 ms permite ciclos de relógio mais curtos
- Face metálica integrada para proteção contra contaminação
- Adequado para UHV devido à célula de medição em aço inoxidável com vedação metálica (taxa de fuga de He <5e-10 mbar l / s)
- Estabilidade de sobrepressão até 10 bar
- Indicação ótica do estado por LED
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