STACIS® III é um sistema avançado e flexível de isolamento activo de vibrações. Utilizando sensores avançados de vibração inercial, algoritmos sofisticados de controlo e actuadores piezoeléctricos de última geração, STACIS cancela a vibração em tempo real através da medição contínua da actividade do pavimento, depois expandindo e contraindo actuadores piezoeléctricos para filtrar o movimento do pavimento.
Inicialmente concebido para isolar microlitografia de precisão, metrologia, e equipamento de inspecção em fábricas avançadas de semicondutores, STACIS é agora a solução padrão da indústria para os instrumentos mais sensíveis em ambientes ruidosos, incluindo mas não se limitando a fabrico de semicondutores, laboratórios de análise de falhas, investigação nanotecnológica, instalações de nanofabricação, e investigação de materiais
O STACIS III inclui um novo e melhorado controlador digital, o DC-2020. Com um novo processador dual-core e Ethernet, bem como portas série USB nos painéis frontal e posterior, este novo sistema de controlo avançado fornece ao utilizador uma interface gráfica de utilizador (GUI) moderna e fácil de usar. Com muitas centenas de instalações de sucesso em todo o mundo, STACIS é o sistema ideal de isolamento de vibrações para os instrumentos mais sensíveis à vibração.
Centenas de vezes mais rígido do que os isoladores de ar, STACIS não sofre de nenhuma das limitações dos sistemas de isolamento de vibrações do ar. Não há suspensão "suave" e, ao contrário dos sistemas de ar activo, STACIS pode ser colocado debaixo de uma ferramenta com um sistema interno de isolamento de ar activo com ambos os sistemas totalmente optimizados.
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