Sistema antivibração ativo Stage-Base 450

para a indústria dos semicondutores

A TMC continua a aplicar tecnologia avançada para desenvolver novas soluções para as exigências desafiantes que as ferramentas de semicondutores colocam nos seus sistemas de isolamento de vibrações. O Stage-Base 450 foi projetado especificamente para ser o principal sistema de cancelamento de vibração para ferramentas avançadas de semicondutores que incorporam estágios X-Y motorizados de alta precisão. Embora essas ferramentas exijam um cancelamento de vibração extremamente eficiente, igualmente crítico, elas exigem que o movimento da carga induzido pelo estágio se estabilize muito rapidamente para maximizar o rendimento da ferramenta. Com a adição de VCM com controlo de avanço para um tempo de estabilização ainda mais rápido para aumentar ainda mais o rendimento, o resultado é o mais avançado sistema de Cancelamento Ativo de Vibrações e Movimentos para aplicações de fases móveis. A Vantagem da Base de Estágio- O Stage-Base 450 é a próxima geração em cancelamento ativo de vibração piezoeléctrica de montagem rígida que integra a tecnologia de bobina de voz. Só a TMC pode oferecer esta tecnologia única do tipo série para cancelamento avançado de vibrações de baixa frequência com motores de bobina de voz (VCM) para cancelamento agressivo de movimentos em palcos em movimento. O sistema de controlo ativo da próxima geração Stage-Base 450 incorpora a tecnologia STACIS da TMC para conseguir um cancelamento extremo das vibrações utilizando actuadores piezoeléctricos e uma suspensão rígida numa arquitetura de tipo série. Isto resulta num isolamento da vibração do piso a partir de 0,6 Hz, sem paralelo na indústria, com uma deflexão inicial significativamente menor em resposta às forças do palco. - Incorpora a tecnologia STACIS® exclusiva - Utiliza actuadores piezoeléctricos de alta força e curso prolongado - Repetibilidade da posição da carga útil com precisão de microns - Design montável em estrutura - 6 graus de liberdade activos