Sistema antivibração ativo Electro-Damp® II

para a indústria dos semicondutores

O eletro-Damp® é o primeiro sistema ativo comercial do isolamento de vibração projetado especificamente aumentar a taxa de transferência, a definição, e o rendimento em aplicações da fabricação do semicondutor. O II Eletro-úmido estão um completo remodelam do sistema original, adicionando a modularidade, o controle digital, a reação, os atuadores da alto-força/afastamento, e as interfaces de usuário digitais múltiplas projetadas especificamente para o uso em aplicações do OEM tais como o microlithography, a inspeção, e as ferramentas da metrologia. Procuras de oposição do lugar das ferramentas da fabricação do semicondutor em seu sistema do isolamento de vibração. Em resposta ao ruído do assoalho, o sistema deve ser macio filtrar eficazmente a vibração do assoalho de alcançar a superfície isolada. Simultaneamente, o sistema deve ser duro em resposta às forças que da fase tal esse movimento da fase induz o deslocamento mínimo da superfície e dos acordos isolados rapidamente. Além do que o emprego do feedback com inércia, ativo que umedece, reação Eletro-úmida da informação dos usos II para melhorar mais a resposta de sistema. Trabalhos da reação tomando a informação de um controlador da fase sobre a posição e a aceleração da fase, a seguir os processos que dados para fornecer a atuação da força à carga útil, reduzindo extremamente o movimento fase-induzido da carga útil. O sistema pode ler a informação da reação digitalmente, como sinais análogos bipolares, ou lendo a saída de codificadores da quadratura. O controlador de DC-2000 Digitas pode igualmente automaticamente ajustar os parâmetros exigidos pela reação usando um teste padrão de teste da fase. Isto faz a instalação nas instalações iniciais, ou após mudanças à carga útil, rápido e fácil.