Controlador de posicionamento de 3 eixos PEPS® II

digitaleletrônicode alto desempenho

O PEPS® II melhora e baseia-se no PEPS® patenteado pela TMC (Precision Electronic Positioning System). Com a adição de um novo controlador digital, o PEPS® II é mais fácil de usar, oferece mais características e tem uma interface de utilizador melhorada. O PEPS® II é um sistema digital sem contacto, de controlo de altura para sistemas de isolamento pneumático de vibrações TMC. Tais sistemas normalmente incorporam válvulas de altura mecânicas e uma ligação mecânica de detecção de altura. As suas aplicações vão desde equipamento de fabrico de semicondutores para melhorar o tempo de assentamento e aumentar os rendimentos, até ambientes laboratoriais de precisão que exigem o melhor desempenho em termos de ruído e estabilidade da plataforma. Controlo digital, interface LCD de fácil utilização -Controlo de altura electro-pneumático sem contacto para Gimbal Piston™, CSP®, e MaxDamp® sistemas de isolamento de vibração -Repetibilidade da posição do eixo Z: 10 microns -Impromoção do isolamento vibratório devido à eliminação do contacto de alavanca dos sistemas convencionais de controlo mecânico de altura -A função de avanço pneumático minimiza a reacção do eixo Z ao movimento de fase X-Y -Pode ser sintonizado para resolver rapidamente os movimentos induzidos por fases X-Y -Opcional "VX" incorpora sensores de inércia para amortecimento activo da ressonância do isolador vertical - "Soft-dock" compatível. Permite a carga/descarga de wafer sem montagem cinemática -Válvulas electrónicas proporcionais. Nenhum ruído de pulso introduzido por válvulas electrónicas "on-off" ou convencionais -Linha de escape canalizada para eliminação limpa do ar residual -Controlo e estado das docas lógicas