Plataforma antivibratória STACIS Quiet Island

Fábricas de fabricação de semicondutores (fabs), Centros de Nanotecnologia, Nanofabs e outras instalações de fabricação e pesquisa de precisão incorporam frequentemente salas limpas com um sistema de pisos falsos elevados para acomodar os requisitos de instalações complexas (encanamentos, cabos elétricos, tubulações de gás, etc.) e para manter padrões rigorosos de limpeza. Tais pisos representam um desafio para a instalação de equipamentos de produção, inspeção e metrologia sensíveis à vibração. Os pisos elevados não podem proporcionar o ambiente de vibração silencioso necessário para tais ferramentas. O Quiet Island® da TMC é uma solução inovadora que substitui uma secção da área do piso elevado por uma "Quiet Island" ancorada no sub-piso abaixo. O Quiet Island consiste em uma plataforma compatível com sala limpa combinada com uma aplicação e uma estrutura de suporte específica do local. Cancelamento de Vibração O principal elemento de suporte e tecnologia central exclusiva da Quiet Island é o Sistema de Cancelamento de Vibração Ativa STACIS III. Este sistema "rígido" de suporte de cancelamento de vibração inercial é crítico para qualquer instrumento sensível à vibração, permitindo que tais ferramentas operem de acordo com seus mais altos padrões em um ambiente de outro modo barulhento. STACIS III é compatível com ferramentas de processamento automático de wafer, ferramentas de imagem eBeam de alta resolução, ferramentas de fresagem de feixe de íons e qualquer ferramenta com sistemas internos de isolamento de vibração, tanto passivos quanto ativos (consulte nosso white paper sobre empilhamento ativo em isoladores ativos). Além disso, proporciona o maior isolamento contra vibrações em toda a gama de frequências mais ampla comercialmente disponível. E, o design "hard-mount" é extremamente rígido para que não haja preocupação com a estabilidade de ferramentas altas e pesadas.