Os passeios na montanha modelam 645 Chuck Supply eletrostático software-conduzido que oferece uma disposição de características que fornecem benefícios significativos ao acomodar uma variedade de aplicações de exigência. O uso documentado mostra que os clientes viram aumentos no igual da eficiência e da taxa de transferência a três vezes que de outras fontes. Adicionalmente, os 645 modelo eliminam virtualmente a bolacha pegajosa e edições de estalo da bolacha, assim assegurando o melhor controle sobre a contaminação da partícula.
Dado a versatilidade e o desempenho dos 645 modelo, pode ser usado em ferramentas originais múltiplas/processos, assim eliminando a necessidade de especificar uma fonte nova para cada ferramenta/processo originais em uma facilidade.
Especificações chaves
Colocação em fase da saída:
Tensão A (fase da referência): 0 a ±2 quilovolt
Tensão B (fase B = [- 1] fase de x A): 0 a ±2 quilovolt
Escala da tensão da saída: 0 a ±2 quilovolt
Escala da corrente de saída: 0 à C.C. de ±6.5 miliampère com uma capacidade máxima de 10 miliampères
As aplicações típicas incluem
manipulação Eletrostático-conduzida dos materiais
Processamento da bolacha de semicondutor
transferência Não-mecânica dos telas planos ou de outros materiais de processamento sensíveis ao grampeamento mecânico
Características e benefícios
Apoia tecnologias do ESC de Coulombic e de Johnsen-Rahbek
Usuário configurável para sequências feitas sob encomenda da braçadeira e do declamp e formas de onda
Os perfis eletrostáticos do mandril podem ser transferidos arquivos pela rede à unidade e ser armazenados internamente através de uma relação de software fácil de usar
Redução documentada de erros do gás da parte traseira, da taxa de transferência aumentada, e da eliminação bolachas pegajosas/estalando
Relação de controle Lockable do painel frontal
Capacidade aos parâmetros de controle tais como os pontos iniciais da sobrecarga, os bolacha-atuais e bolacha-apertado, tensão da braçadeira,
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