O microscópio modelo da força 1100TN eletrostática do passeio na montanha (EFM) permite medidas da distribuição da tensão com uma definição espacial muito alta melhor de 10μm que é bem além da capacidade de voltímetros eletrostáticos típicos. O EFM do passeio na montanha pode igualmente medir a distribuição da tensão através de uma área de superfície muito maior em relação a um microscópio de varredura da ponta de prova quando operado sob circunstâncias atmosféricas. O EFM do passeio na montanha emprega uma tensão do feedback ao detector que é igual à tensão medida que impede assim formar arcos entre o detector e a superfície sob o teste.
Especificações chaves
Escala da tensão: ±1 quilovolt
Sensibilidade da tensão:
Precisão: Melhor de 0,5% de completo
Melhor de 100 milivolt
Etapa incremental: 1 µm, mínimo (detector)
Ponta do detector: 5 µm do µm X 5
Área da medida: 5 milímetros X 5 milímetros
As aplicações típicas incluem
Medida de sacos antiestáticos, bolacha do si
Testes de material da eletrofotografia
Avaliação fotovoltaico dos materiais
Testes de MEMS
Características e benefícios
Pode ser usado em condições da atmosfera
A definição espacial é melhor do μm 10
Três modos da medida:
- Estática
- Linha perfil
- traço 3D
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