Registo da inclinação no campo de gravitação utilizando sensores MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) com posterior digitalização e linearização através de um controlador. A saída de dados é realizada através da interface CANopen ou como um sinal analógico. O sensor de inclinação possui uma caixa estável em alumínio (opcionalmente em aço inoxidável). Estão disponíveis slots para alinhamento mecânico (até aprox. ± 7,5°). No caso do CANopen, um conector ou uma combinação de conectores macho/fêmea pode ser selecionado opcionalmente para fins de conexão. As medidas de fundição na carcaça levam à obtenção da classe de protecção IP 69K, por exemplo, para utilização debaixo de água. Os sensores MEMS são circuitos integrados fabricados com tecnologia micromecânica de silício a granel. Estas estruturas micromecânicas são utilizadas para formar capacidades duplas. Se estas estruturas forem desviadas em caso de aceleração, por exemplo, aceleração gravitacional (g), isso resulta em mudanças de capacidade, que são registradas e processadas posteriormente usando a tecnologia de medição. Devido à dependência da capacidade diferencial aqui descrita, a tensão de saída segue a função U ∝ g *sin α. Neste caso, o ângulo α é o ângulo de inclinação do sensor medido em relação ao vetor g. Estes sensores medem precisamente, têm uma longa vida útil e são muito robustos. Os eixos de medição operam independentemente um do outro.
---