Sistema de medição de dimensões críticas Spector

ópticopara semicondutorde alta precisão

A TZTEK fornece sistemas de alta precisão e repetibilidade para a metrologia de máscaras que são necessárias durante o fabrico de máscaras. As máscaras podem ser GOG e PSM ou outras. Para o requisito de IQC da máscara na Fab, a TZTEK fornece objectivas de longa distância de trabalho para proteger a máscara com película. Para a medição de CD na máscara, o sistema fornece iluminação visível e UV, tanto em modo refletido como transmitido. A iluminação UV pode ser utilizada para medir a largura da estrutura até 300 nm, sendo a repetibilidade (3sigma) maioritariamente na gama de vários nanómetros. principais características -Medição de dimensões críticas, inspeção de defeitos, revisão de máscaras -Disponível para tamanho de máscara até 14 polegadas e forma de máscara personalizada -Iluminação visível e UV disponível nos modos transmitido e refletido -SECS/GEM -Baixo custo de manutenção, estável e fiável