Bomba de vácuo de palhetas rotativas LR/HR/UR series

secade simples estágiode hélio

BOMBA DE VÁCUO SECA SÉRIE LR/HR/UR A abordagem exclusiva da ULVAC para utilizar o calor gerado de dentro do corpo da bomba seca permite que a série LR/HR/UR funcione mesmo nos processos mais rigorosos. A ULVAC concentrou os esforços de projeto na manutenção de uma temperatura alta extremamente uniforme em todos os estágios da bomba, tornando esta bomba de série ideal para aplicações de CVD e etch. O ECO-SHOCK da ULVAC pode ser adicionado à bomba LR para uma economia de energia adicional de até 70% em qualquer processo de iluminação, incluindo o bombeamento de ar ou nitrogênio: A bomba da série LR é projetada para processos de bloqueio de carga ou PVD. O projeto exclusivo de alumínio da ULVAC permite uma distribuição de temperatura muito uniforme em todo o corpo da bomba: A bomba da série HR é projetada para processos de CVD e etch. A bomba da série ULVAC UR é projetada para aplicações que requerem uma bomba aquecida, linhas de gás aquecidas e/ou linhas de exaustão aquecidas Excelente capacidade de bombeamento de hélio : Motor em lata para segurança e facilidade de manutenção Proteção contra falha de energia: A bomba resiste a interrupções de energia de até 1000ms de duração. Resistência superior à corrosão: Os componentes internos são especialmente tratados, proporcionando um elevado grau de dureza superficial e resistência à corrosão. Isto evita o desgaste e corrosão das peças internas da bomba quando expostos a gases corrosivos. Função de comunicação: Os dados da bomba, incluindo avisos e alarmes, podem ser exportados. Está disponível um extenso controlo da bomba. Marcação CE está disponível : Marcação CE está disponível mediante solicitação.