Bomba de vácuo turbomolecular UTM-FH, FW series

lubrificadade simples estágioanticorrosão

Variações abundantes de 350L/s para o maior 6300L/s do mundo (tipo de rolamento magnético digital controlado). Desempenho de bombeamento estável e sustentável contra alteração de contrapressão (série FH). Sistema de aquecimento interno opcional para controlar a temperatura do rotor e reduzir a aderência dos subprodutos da reacção lateral (série FW). Excelente tratamento de superfície anticorrosiva (excluindo 3303FH e 6300FH). Tratamentos de superfície especiais opcionais (por exemplo, Níquel galvanização + eletrodeposição catiónica, película especial depositada, anodização de alumínio) estão disponíveis conforme necessário. Montável em todas as direcções. O sistema de velocidade variável torna possível alterar o velocidade de bombeamento na faixa de 25% a 100%. Não há limitação para combinar qualquer fonte de alimentação e bomba unidade principal para alterar o comprimento do cabo devido à utilização do acoplamento sistema livre e sistema livre de tuning. A auto-geração de energia por energia regenerativa é utilizada para fonte de alimentação de reserva na falta de energia usando bateria livre sistema. Não é necessário substituir a bateria com problemas. Funções de monitorização/autodiagnóstico e comunicação integradas para configurar o sistema de monitoramento centralizado. Projeto de segurança com construção de absorção de energia de fratura pode reduzir os danos no sistema de vácuo quando há problemas aconteceu com as bombas. Alta durabilidade e alta confiabilidade foram realizadas por experiências tais como testes de adrenalina do ar, vários testes de toque testes de queda, testes de destruição forçada de rotores e corpos estranhos teste de queda de material (queda de Si wafer).