ATMOSFÉRICO PIRANI GAUGE COMBO SW1 & ISG1 COMBO
Este é um medidor pirani de ampla gama que mede da pressão atmosférica para 5×10-2 Pa (3,75×10-4 Torr, 5×10-4 mbar) O fio de platina é usado para filamentos, portanto, o filamento irá funcionar mesmo em pressão atmosférica
Medidas de pressão atmosférica a 5×10-2 Pa (3,75×10-4 Torr,
5×10-4 mbar)
Tensão de alimentação
Alimentado com entrada de 24VDC ou 100VAC para 240VAC
Resistente a choques
O design é altamente resistente ao choque
Material do Filamento: platina (Pt)
A platina resistente à corrosão é usada como o material do filamento
LEDs de alta visibilidade usados para exibição de erros
Ajuste com um toque
A regulação da atmosfera e a regulação do ponto zero podem ser realizadas
com um toque
Mantenabilidade
A cabeça do sensor pode ser facilmente substituída
Valor de medição Sinal de saída
A pressão é de 0 a 10V Saída Log
Sinal de saída de controle
3 saída de set point
Especificações da Comunicação Serial
Comunicação RS485 (ISG1)
Unidade de exibição
Com LED visivel
Certificação
Em conformidade com CE
Controle de processo em baixa faixa de vácuo de equipamentos de vácuo tais como
como a utilizada para semicondutores, óptica e campo fotovoltaico, FPD,
fabrico de peças electrónicas
Controle de processo na faixa de baixo vácuo para equipamentos industriais como
como fornos de vácuo, etc.
Controle de processo na faixa de baixa pressão para sistemas de vácuo com
câmaras de processo múltiplas, tais como sputtering em linha e wafer simples
equipamento de processamento
Para a unidade de bombeamento (sistema) que tem uma vibração e/ou shach no
processo de fabrico
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