Analisador de gases de processo QULEE CGM series

de gás residualde monitoramentode processo

MONITOR COMPACTO DE GÁS DE PROCESSO - SÉRIE QULEE CGM "Qulee" (pronunciado como "KLEE"), é o mais recente modelo da ULVAC para análise de gases residuais e monitoramento de gases durante o processo. O feedback dos engenheiros de instalações em várias linhas de produção é incorporado no novo design do produto, oferecendo a máxima simplicidade. O Qulee oferece alta precisão e resolução mesmo em alta pressão (1Pa ou menos) Ideal para monitoramento de processos de vários sputtering sysytem Sistema de bombeamento diferencial não é necessário Não é necessário nenhum sistema de bombeamento diferencial (a 1Pa (7,5×10-3 Torr, 1×10-2 mbar) ou inferior) Visor integrado Sem necessidade de PC Operação simples "Função "Um clique Assar Max 120˚C (248˚F) forno de alta temperatura (250˚C (482˚F) quando sensores são removidos) Função Desgás Bombardeiro electrónico degas Recursos de proteção e manutenção Manutenção da proteção de fontes de íons e multiplicadores de elétrons secundários função de ajuda Rastreabilidade do tubo de análise (patente pendente) Vários testes de vazamento estão disponíveis Ensaio de fuga de hélio, ensaio de fuga de ar, ensaio de construção Medição de Pressão Total Capacidade de medição da pressão total (manómetro de ionização) Qulee QCS está incluído Este software está incluído e é compatível com (Windows 7/8) QIP (Sistema de Pacote de Instalação Rápida) Incluído Pacote de medição automático (consulte o catálogo de opções para mais detalhes) Norma aplicável Em conformidade com CE Monitoramento de processo para PV, FPD e sistema de semicondutores Análise de gases residuais em sistema PVD Controle de impurezas (H2O, etc.) no sistema PVD Para teste de estanqueidade