A série UNECS é um tipo de elipsômetro espectroscópico para medir o índice de refração e a espessura do filme fino de forma rápida e precisa. Adota um método de medição único, e realiza o tamanho compacto e medição de alta velocidade. Ele tem uma linha de produtos stong, como o tipo de mesa de porão, o tipo de estágio automático, e o construído - no tipo etc.Medição de alta velocidade :
O método de medição snapshot é realizado e a alta velocidade
é de 20ms por ponto.
Alcance Espectral Visível :
A faixa de comprimento de onda espectral pode ser selecionada. O tipo standard é
530nm~750nm e o tipo espectral visível é 380nm~760nm.
Unidade de sensor compacto :
A unidade do sensor é leve e muito compacta. Consiste em
um elemento óptico que não tem qualquer mecanismo rotativo. Em
além disso, não há necessidade de qualquer manutenção periódica.
Forte linha de produtos :
Existe uma forte linha de produtos com o tipo portátil, o manual/ manual
tipo de estágio automático, o tipo embutido e o tipo de substrato grande, etc.
CARACTERÍSTICAS ESPECIAIS / OUTRAS APLICAÇÕES
Medição para filmes finos transparentes ou semi-transparentes
espessura(D), índice reflexivo(N) e coeficiente de extinção(K). (Óxido
filme, filme nitreto, filme foto-resistente, filme ITO, etc.)
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