GERADORES DE ENERGIA DC PULSADA DPG-5P/DPG-10P
Os DPG-5P/10P são geradores de energia CC pulsada de 5kW/10kW para pulverização catódica reativa. Este gerador de energia altera a tensão de saída menos para mais tensão, e descarrega a tensão do elétron de armazenamento da superfície alvo. Com isso, a melhoria do rendimento e da produtividade é conseguida
Torna possível a entrada de alta potência, reduzindo o anormal
descarga
Reduz os danos do substrato
Capaz de reduzir danos no substrato causados por arcos
Frequência de pulso de inversão variável
Possível alcance: 10kHz a 250kHz
Capaz de grandes capacidades através de conexões mestre/escravo
Até seis unidades podem operar em paralelo (o mesmo modelo é
disponível)
Correspondente à saída DC
Ele cancela uma função de pulso e pode sair DC
CARACTERÍSTICAS ESPECIAIS / OUTRAS APLICAÇÕES
Equipamento reactivo de pulverização catódica para FPD
Equipamento reactivo de pulverização catódica para revestimento industrial
Equipamento reactivo de pulverização catódica para TFT a cores
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