Gerador de funções DPG-5P/DPG-10P
de impulsosde tensãode descarga

Gerador de funções - DPG-5P/DPG-10P - ULVAC GmbH - de impulsos / de tensão / de descarga
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Características

Tipo
de funções, de impulsos, de tensão, de descarga
Outras características
digitais

Descrição

GERADORES DE ENERGIA DC PULSADA DPG-5P/DPG-10P Os DPG-5P/10P são geradores de energia CC pulsada de 5kW/10kW para pulverização catódica reativa. Este gerador de energia altera a tensão de saída menos para mais tensão, e descarrega a tensão do elétron de armazenamento da superfície alvo. Com isso, a melhoria do rendimento e da produtividade é conseguida Torna possível a entrada de alta potência, reduzindo o anormal descarga Reduz os danos do substrato Capaz de reduzir danos no substrato causados por arcos Frequência de pulso de inversão variável Possível alcance: 10kHz a 250kHz Capaz de grandes capacidades através de conexões mestre/escravo Até seis unidades podem operar em paralelo (o mesmo modelo é disponível) Correspondente à saída DC Ele cancela uma função de pulso e pode sair DC CARACTERÍSTICAS ESPECIAIS / OUTRAS APLICAÇÕES Equipamento reactivo de pulverização catódica para FPD Equipamento reactivo de pulverização catódica para revestimento industrial Equipamento reactivo de pulverização catódica para TFT a cores

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