Este mandril quente de alta precisão tem uma área aquecida com 310 x 310 mm.
Ele pode ser usado como mandril embutido ou independente com um controlador externo.
A placa quente de vácuo tem furos de vácuo em um passo de 25mm cada (1mm de diâmetro)
para segurar o substrato ou wafer.
A temperatura máxima é de 300 °C.
3-Zona - medição de temperatura
incl. Software para gestão dos perfis de temperatura
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